等离子体工艺腔室仿真系统研制取得突破

1月18日，大连理工大学传来消息，该校科研团队开发出了国内首个拥有自主知识产权的等离子体工艺仿真平台（MAPS）。这一成果突破了原子级制造面临的多项技术壁垒，实现了在虚拟环境下对真实制造流程的还原，有助于前瞻性产品设计及性能预测，为推动新工业化进程提供了关键技术保障。

高飞，大连理工大学集成电路学院党委书记和博士生导师表示，MAPS能够针对企业原子级制造设备进行多角度仿真，包括设备外控参数和几何结构设计，并模拟工艺演化全过程。这为零部件的研发环节带来了时间与效率上的显著提升。该团队依托学校在相关领域的深厚实力，经过多年的专项研发与大量等离子体实验，目前MAPS技术已在华为、拓荆科技等多家企业落地应用，与国外同类平台相比，在成本和研发周期方面分别节省了15%和20%。

张钰如，作为等离子体物理学方向的教授，介绍了团队与国内多家领先企业的合作模式，双方共建了联合实验室，使学生能够在在校期间直接参与企业的技术项目，为产业链培养具备实战经验的高端人才。

辽宁省目前将原子级制造确立为未来产业的重要发展方向，依托重点实验室等平台，积极组织相关技术推广与路演活动。辽宁省科学技术厅副厅长许爱东表示，省里已设立相关科技计划，在原子级制造、量子科技和具身智能等创新领域加强基础研究和重点攻关，力争在核心技术上实现突破，加快推动产业高质量跨越式发展。更多信息请访问中国舆情网。